臭氧浓度检测的方法大致可分为化学分析法和仪器法两大类。

最常用的化学分析方法有碘化钾法、硼酸碘化钾吸光光度法和靛蓝二磺酸钠分光光度法。前两种方法对臭氧的特异性或稳定性较差，在现场使用中受到一定的限制，而靛蓝二磺酸钠分光光度法灵敏度高，抗臭氧能力强。可用于O3的定量测定，因此在1996年颁布的空气质量标准GB3095-1996中，采用该方法代替原标准中的硼酸碘化法作为O3化学检测的标准。

臭氧检测仪器方法的优点是灵敏度高，重复性好，对操作人员的要求不高，是一种较好的方法，但是因为此类仪器原来一般价格昂贵，不易普及使用。经过多年的努力，在提高质量的过程中，通过大规模采购不断降低臭氧检测仪的价格。越来越多的客户使用臭氧检测仪器。现在它终于被大规模使用了。

检测臭氧浓度的原理是采用化学发光法、紫外吸收法和电化学法。由于化学发光法需要配备乙烯气瓶，而乙烯为可燃物质，危险且不便，因此近年来普遍采用紫外吸收法和电化学法。

紫外吸收法的原理是基于O3对波长为254nm的紫外光的吸收，根据比尔一朗的定律可以计算出O3的浓度。该方法结构简单、灵敏度高、响应速度快。在0-10000ppm浓度范围内具有良好的线性度，零漂和跨度漂移很小。

电化学法是待测臭氧气体通过扩散方式与仪器接触。并做出反应。输出稳定的电信号。气体浓度值可在显示器上稳定显示数据。